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六維力傳感器有很多種名稱(chēng),如六軸力傳感器、六分量天平、六軸力/力矩傳感器、六向力傳感器等,實(shí)際上就是一種可以同時(shí)檢測 3 個(gè)力分量和 3 個(gè)力矩分量的力傳感器。
根據 X , Y , Z 方向的力分量和力矩分量可以得到合力和合力矩。傳感器的種類(lèi)按敏感兀件可以分為:電阻應變式、壓電式、光學(xué)式、電容式、電感式等幾類(lèi)。六維力傳感器按測力原理可分為電阻式應變式,電容式,電感式,壓電式和光電式等。
就以上幾種類(lèi)型的傳感器而言,電阻應變式六維力傳感器的應用得廣泛而且目前技術(shù)成熟的一種。其基本工作原理是外力作用下,彈性體結構形變,貼在彈性體!幾的應變片發(fā)生應變引起電阻仇的變化,再經(jīng)電路將阻仇的變化轉化為電壓或電流的變化表現。電容式則是將電容式力敏傳感器的核心部分是對壓力敏感的電容器。力敏電容器的電容量是由電面積和兩個(gè)電間的距離決定的,當硅膜片兩邊存在壓力差時(shí),硅膜片產(chǎn)生形變,板間的間距發(fā)生變化,從而引起電容從的變化,電容變化量與壓力差有關(guān)。